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    Magnesium silicide thin film formation by reactive diffusion
    KOGUT, Iu ; RECORD, M.-C
    In: Thin solid films, Jg. 522 (2012), S. 149-158
    Online academicJournal
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    Nanocrystalline SiC films prepared by direct deposition of carbon and silicon ions
    SEMENOV, A. V ; PUZIKOV, V. M ; et al.
    In: Thin solid films, Jg. 516 (2008), Heft 10, S. 2899-2903
    Online academicJournal
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    The structure, diffusion and phase formation in Mo/Si multilayers with stressed Mo layers
    ZUBAREV, E. N ; ZHURBA, A. V ; et al.
    In: Thin solid films, Jg. 515 (2007), Heft 17, S. 7011-7019
    Online academicJournal
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    Study of fast diffusion species in Sc/Si multilayers by W-based marker analysis
    VORONOV, D. L ; ZUBAREV, E. N ; et al.
    In: Thin solid films, Jg. 513 (2006), Heft 1-2, S. 152-158
    Online academicJournal
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    Synthesis of carbon nitride thin films by low-energy ion beam assisted evaporation : on the mechanisms for fullerene-like microstmcture formation
    GAGO, R ; NEIDHARDT, J ; et al.
    In: Thin solid films, Jg. 483 (2005), Heft 1-2, S. 89-94
    Online academicJournal
    Zugriff:
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