Formation of Ti and TiN ultra-thin films on Si by ion beam sputter deposition

STYERVOYEDOV, A ; FARENIK, V

In: Proceedings of the 23rd European Conference on Surface Science, ECOSS-23, Berlin, Germany, 4-9 September 2005Surface science 600(18):3766-3769; Jg. 600 (2006) 18, S. 3766-3769

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Ultra-thin titanium and titanium nitride films on silicon substrate were obtained by ion beam sputtering of titanium target in vacuum and nitrogen atmosphere, using argon ions with energy of 5 keV and 15 μA target current. Elemental composition and chemical state of obtained films were investigated by X-ray photoelectron spectroscopy with using Mg-Ka X-ray radiation (photon energy 1253.6 eV). It was shown that it is possible to form both ultra-thin titanium films (sputtering in vacuum) and ultra-thin titanium nitride films (sputtering in nitrogen atmosphere) in the same temperature conditions. Photoelectron spectra of samples surface, obtained in different steps of films synthesis, detailed spectra of photoelectron emission from Si 2p, Ti 2p, N 1s core levels and also X-ray photoelectron spectra of Auger electrons emission are presented.

Titel:	Formation of Ti and TiN ultra-thin films on Si by ion beam sputter deposition
Autor/in / Beteiligte Person:	STYERVOYEDOV, A ; FARENIK, V
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Quelle:	Proceedings of the 23rd European Conference on Surface Science, ECOSS-23, Berlin, Germany, 4-9 September 2005Surface science 600(18):3766-3769; Jg. 600 (2006) 18, S. 3766-3769
Veröffentlichung:	Amsterdam; Lausanne; New York, NY: Elsevier Science, 2006
Medientyp:	Konferenz
Umfang:	print, 12 ref
ISSN:	0039-6028 (print)
Schlagwort:	General chemistry, physical chemistry Chimie générale, chimie physique Nanotechnologies, nanostructures, nanoobjects Nanotechnologies, nanostructures, nanoobjets Condensed state physics Physique de l'état condensé Polymers, paint and wood industries Polymères, industries des peintures et bois Sciences exactes et technologie Exact sciences and technology Physique Physics Etat condense: structure, proprietes mecaniques et thermiques Condensed matter: structure, mechanical and thermal properties Etat condense: structure electronique, proprietes electriques, magnetiques et optiques Condensed matter: electronic structure, electrical, magnetic, and optical properties Domaines interdisciplinaires: science des materiaux; rheologie Cross-disciplinary physics: materials science; rheology Composé minéral Inorganic compounds Couche ultramince Ultrathin films Dépôt pulvérisation Sputter deposition Faisceau ion Ion beams Métal transition composé Transition element compounds Métal transition Transition elements Silicium Silicon Spectre photoélectron RX X-ray photoelectron spectra Titane nitrure Titanium nitrides Si Ti Titanium nitride Titanium X-ray photoelectron spectroscopy (XPS)
Sonstiges:	Nachgewiesen in: PASCAL Archive Sprachen: English Original Material: INIST-CNRS Document Type: Conference Paper File Description: text Language: English Author Affiliations: Scientific Centre of Physical Technologies of MES and NAS of Ukraine, Svobody sq. 6, 61022 Kharkiv, Ukraine ; V.N. Karazin Kharkiv National University, Svobody sq. 4, 61077 Kharkiv, Ukraine Rights: Copyright 2007 INIST-CNRS ; CC BY 4.0 ; Sauf mention contraire ci-dessus, le contenu de cette notice bibliographique peut être utilisé dans le cadre d’une licence CC BY 4.0 Inist-CNRS / Unless otherwise stated above, the content of this bibliographic record may be used under a CC BY 4.0 licence by Inist-CNRS / A menos que se haya señalado antes, el contenido de este registro bibliográfico puede ser utilizado al amparo de una licencia CC BY 4.0 Inist-CNRS Notes: Physics and materials science ; Physics of condensed state: electronic structure, electrical, magnetic and optical properties ; Physics of condensed state: structure, mechanical and thermal properties

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