Analysis of Negative Capacitance UTB SOI MOSFETs considering Line-Edge Roughness and Work Function Variation

Chiu, Pin-Chieh ; Hu, Vita Pi-Ho

In: IEEE 2nd Electron Devices Technology and Manufacturing Conference (EDTM); (2018-03-01) S. 13-15

Konferenz

Titel:	Analysis of Negative Capacitance UTB SOI MOSFETs considering Line-Edge Roughness and Work Function Variation
Autor/in / Beteiligte Person:	Chiu, Pin-Chieh ; Hu, Vita Pi-Ho
Quelle:	IEEE 2nd Electron Devices Technology and Manufacturing Conference (EDTM); (2018-03-01) S. 13-15
Veröffentlichung:	2018
Medientyp:	Konferenz
ISBN:	978-1-5386-3712-8 (print) ; 978-1-5386-3711-1 (print)
DOI:	10.1109/EDTM.2018.8421472
Sonstiges:	Nachgewiesen in: IEEE Xplore Digital Library

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