High frequency performance of sub-100 nm UTB-FDSOI featuring TiN/HfO 2 gate stack
In: Solid State Electronics, Jg. 53 (2009), Heft 4, S. 433-437
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academicJournal
Titel: |
High frequency performance of sub-100 nm UTB-FDSOI featuring TiN/HfO 2 gate stack
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Autor/in / Beteiligte Person: | Lim, Tao Chuan ; Rozeau, Olivier ; Buj, Christel ; Paccaud, Michel ; Lepilliet, Sylvie ; Dambrine, Gilles ; Danneville, François |
Link: | |
Zeitschrift: | Solid State Electronics, Jg. 53 (2009), Heft 4, S. 433-437 |
Veröffentlichung: | 2009 |
Medientyp: | academicJournal |
ISSN: | 0038-1101 (electronic) |
DOI: | 10.1016/j.sse.2008.09.022 |
Sonstiges: |
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