薄膜Al2O3/SiO2 BOX層を有するUTB-GeOI基板作製
2013
Online
academicJournal
Zugriff:
Titel: |
薄膜Al2O3/SiO2 BOX層を有するUTB-GeOI基板作製
|
---|---|
Autor/in / Beteiligte Person: | 雄一, 上牟田 ; 芳明, 中村 ; 佳彦, 守山 ; 勉, 手塚 ; 圭司, 池田 ; 宏治, 泉妻 ; 正太郎, 竹内 ; 朗, 酒井 |
Link: | |
Veröffentlichung: | 2013 |
Medientyp: | academicJournal |
ISSN: | 2436-7613 (print) |
DOI: | 10.11470/jsapmeeting.2013.2.0_3518 |
Sonstiges: |
|